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　　欺骗单晶硅的压阻效应而 组成。采用单晶硅片为弹性元件，正在单 晶硅膜片上欺骗集成电道的□工艺，正在单 晶硅的特定偏向扩散一组等值电阻，并将电阻接成桥道，单晶硅片置于传感器腔内。当压力产生改变时，单晶硅出现应变，使直接…扩散正在上面的应变电阻 出■现与被测压力成★比 例的改变，尊龙凯时再由桥式电道得回相应的○电压输出 信…号。

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